Flatness - felület - nagy enciklopédiája olaj és gáz, papír, oldal 1

Flatness - felület

felületi simaság (különösen hullámosság) befolyásolja az élességet vonalak fotolitográfiai eljárással. Ha a fényvédő felület nem teszi jó kapcsolatot a fotomaszkot meghatározását, az egyes területek romlani fog. Eltérések a síkból megengedett 1 0 - 5 mikronos / mm. [1]

Síklapúság felszíni - kifejezett Newton gyűrűk interferencia mikron vagy vetemedés a szubsztrátum felületének képest ideális síkra. [2]

Felületi simaság elérése egy ellenőrzést a festéket kaparással a lemez vagy a híd. [3]

A sík a lemez felületén (. Ábra 52 b) ellenőrizze szonda lehetséges különbség a 2 tárcsa és a vonalzóval 3, y cserélhető lemezek - festék- vagy jelzés a felületi lap. Távolítsuk el az összes megsértése a feldolgozás egy eszterga. Amikor a rotor az ellenőrzési központok, prizmák vagy csapágyak eltérő szívverés egyes részei meghatározzák közös tengelyen alakváltozás. Heartbeat 0 nem haladhatja meg a 05 mm-t. [5]

Sík a lemezek felületén alkalmazásával határozzák meg a vezérlő vonal az ellenőrzött felületek. Amikor ez a próba készlet közötti különbség a homloklap és a vezérlő vezetéket felületet. [7]

Laposság a felületek testrészek ellenőrzése egy vezérlő vonal, amely fel van szerelve a két végén intézkedések egyenlő vastagságú. A szelvény blokk, az ék alakú méretarány vagy indikátor mért távolság és a vonal között az alkatrész felülete, több helyen. [8]

Síklapúság felületek UT típusú vonalak normalizált foltok száma egy négyzet egy oldala 25 mm. [9]